~ 4 eV：Si-Kα 的 FWHM，超過 EDS 能量分辨率一個數量級的卓越能量分辨率

< 100 ppm：許多元素的檢測限，痕量元素分析的高精度和高準確性

> 900 cps/nA：80 ? 厚多層結構中 C-Kα 的計數率，低能量 X 射線的高靈敏度

補充您的 SEM：使用電子探頭微分析儀的好處

• 用于 SEM 的 QUANTAX WDS由 XSense 波長分散光譜儀組成，在所有平行光束 WDS 系統中實現最佳分辨率。與基于羅蘭圓的 WDS 光譜儀相比，QUANTAX WDS 由于平行光束設計，可以實現大固體角采集，為低能 X 射線提供更高的信號強度
  

• WDS 通過抑制背底輻射的獨特二次光學器件進一步增強信噪比

• QUANTAX WDS 配備最好的掠入角光學元件和多達六個分析晶體，對 70 eV 以上的低能量 X 射線具有卓越的靈敏度

• 巧妙的自動光學對準系統和獨特的壓力控制比例計數器可確保準確且可重復的結果

• 靈活適應 WDS 或 EDS 端口
  

SEM 上的 WDS – 滿足苛刻分析應用的完美解決方案

• 解決常見的 EDS 峰值重疊，如 Ta-W-Si、Pb-S 或 Mo-S

• 探索感興趣的元素的低能 X 射線線系（L、M、N）

• 研究低加速電壓的樣品，確保電子束穿透深度最小

• 獲得最高的 cps/nA，因為高固體角使輕元素在整個濃度范圍內從 Be 到 F 進行表征

• 得到遠遠低于 EDS 檢測限值的痕量元素濃度

• 可以在低真空下測量，無需導電涂層

• 使用獨特的壓力控制比例計數器，節省分析測量時間

• 確保光譜數據的空間精度，進行精確定量

• 通過同時進行 WDS 和 EDS 分析，將每個探測器的優勢整合到組合定量中，節省采集時間

您的分析挑戰是什么？

使用 WDS 進行寶石分級和純度控制

寶石及其替代品的純度控制可以通過 SEM 完成。使用布魯克超靈敏波長色散光譜儀（WDS）可以實現高能量分辨率分析，可檢測和識別寶石中的雜質。

半導體微芯片材料的元素識別

由于 WDS 技術具有超高能量分辨率，不同元素的重疊譜峰可以被完 美剝離。因此，WDS 可以準確識別半導體材料中的元素。

斜長石中痕量元素的面分布

在SEM 上使用布魯克的超敏感波長色散光譜儀（WDS），可以輕松確定礦物樣品中痕量元素的分布。

解析硫化物礦物中的 X 射線重疊峰

方鉛礦是成分主要為 PbS 的硫化礦物，它常常以立方晶型結晶。

鉛酸電池的硫酸鹽變化

使用 SEM 中的波長色散光譜儀（WDS），可以準確測定電池中化學相，并且給出化學相的分布信息。

鋼鐵中碳的分布圖

WDS 技術是理想的基于 SEM 的分析技術，用于精確測量鋼中的碳含量并繪制其分布圖。

產品優勢

波長分散X射線光譜：終極的分析精度和準確性
低元素 X 射線能量范圍的質量性能
高分辨率、高靈敏度和低檢測限制