激光干涉儀的工作原理
激光器發(fā)射單一頻率光束射入線性干涉鏡，然后分成兩道光束，一道光束（參考光束）射向連接分光鏡的反射鏡，而第二道透射光束（測量光束）則通過分光鏡射入第二個(gè)反射鏡，這兩道光束再反射回到分光鏡，重新匯聚之后返回激光器，其中會(huì)有一個(gè)探測器監(jiān)控兩道光束之間的干涉（見圖）。若光程差沒有變化時(shí)，探測器會(huì)在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號。
若光程差有變化時(shí)，探測器會(huì)在每一次光程變化時(shí)，在相長性和相消性干涉的兩極之間找到變化信號，這些變化會(huì)被計(jì)算并用來測量兩個(gè)光程之間的差異變化
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