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雷尼紹激光干涉儀回轉軸精度的測量方法

2021.4.29

  雷尼紹激光干涉儀測量回轉軸精度時,需要轉臺附件(XR20-W)配合使用,此外還需要使用角度干涉鏡。如果你使用的是有線轉臺附件(RX10),則還需要使用角度反射鏡。

  測量回轉軸精度時,

  第一步,需要將轉臺附件的中心,與回轉軸中心對齊(偏差在1mm之內)。

  第二步,搭好光路。

  第三步,可以運行測量軟件進行測量。

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