質(zhì)譜儀器的真空要求

質(zhì)譜儀器必須在良好的真空條件下才能正常操作，一般要求質(zhì)量分析器的真空優(yōu)于10-4pa。質(zhì)譜儀器所檢測的離子必須要有較大的自由程才可以到達檢測器，其他氣體成分也可能與離子發(fā)生反應(yīng)影響檢測，在質(zhì)譜儀中工作的部件（如離子源燈絲、較密排布的高壓極板）需要在高真空下才能穩(wěn)定工作。因此，質(zhì)譜儀中的部件需要一個真空環(huán)境進行工作。但不同類型的質(zhì)譜儀器對真空的要求不同，既與儀器的類型有關(guān)，又與儀器的大小有關(guān)；質(zhì)譜儀器的不同部分對真空的極限要求也不同，質(zhì)量分析器是所有部分中對真空要求最高的，離子源對氧的分壓要求比較苛刻，但對總壓的要求則比質(zhì)量分析器低幾個數(shù)量級。所以真空系統(tǒng)的配置要視實際情況而定。