Mono- and Multi-crystalline wafer lifetime measurement device

應用范圍：用于精密材料研發的單晶和多晶片的壽命測量

特性

●靈敏度：外延片不可見的缺陷和檢測的 靈敏度的可視化
●測量速度：6英寸硅晶圓片，1mm分辨率 ，小于5分鐘
●使用壽命: 20納秒到幾毫秒
●污染測定：源自爐和設備的金屬(Fe)污染
●測量能力：從初始切割的晶圓片到完全加工的樣品
●靈活性：固定測量頭允許外部激光與觸發器耦合
●可靠性： 模塊化和緊湊的臺式儀器，更高的可靠性和正常運行時間> 99%
●重現性： > 99.5%
●電阻率：不需要頻繁校準

用于研發或生產監控的靈活檢測工具

   MDPmap是一個緊湊的臺式無觸點電子特性的離線生產控制或研發的工具。可測量參數如載流子壽命、光電導性、電阻率、缺陷信息在穩態或注入范圍寬短脈沖勵磁(μ-PCD)。自動化的樣品識別和參數設置可以方便地適應各種不同的樣品，包括在不同的制備階段，從生長的晶圓片到高達95%的金屬化晶圓片的外延片和晶圓片。。 
   MDPmap的主要優點是其高度的靈活性，它允許集成多4個激光器，用于從超低注入到高注入的依賴于注入水平的壽命測量，或者使用不同的激光波長提取深度信息。包括偏置光設施以及μ-PCD或穩態注入條件的選項。可以使用不同的圖進行客戶定義的計算，也可以導出原始數據進行進一步的評估。對于標準計量任務，可用一個預定義的標準，使常規測量只需按一個按鈕。 

MDPmap 晶圓片壽命檢測儀由束蘊儀器（上海）有限公司為您提供，如您想了解更多關于MDPmap 晶圓片壽命檢測儀 報價、型號、參數等信息，歡迎來電或留言咨詢。

注：該產品未在中華人民共和國食品藥品監督管理部門申請醫療器械注冊和備案，不可用于臨床診斷或治療等相關用途。